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TwisTorr 804 FS 渦輪分子泵配備 DN 200 和 250 法蘭，可提供 800 L/s 的抽速，對輕質(zhì)氣體可實(shí)現(xiàn)高壓縮比，其采用的安捷倫懸浮軸承技術(shù) (AFS) 能夠確保低振動和低噪音，適用于各種敏感環(huán)境。TwisTorr 804 FS 的高壓縮比、高前級耐壓能力和免維護(hù)運(yùn)行使其成為一種可靠、高性能、低成本的分子泵。
TwisTorr 804 FS 渦輪分子泵是大型 UHV 系統(tǒng)、核研究、離子注入器、表面分析和電子顯微鏡應(yīng)用的理想選擇。該泵的智能控制器可根據(jù)系統(tǒng)需要自動優(yōu)化泵的性能。
特性
可對輕質(zhì)氣體實(shí)現(xiàn)高壓縮比，同時支持高氣體流速，從而能夠通過 DN200 或 250 法蘭在極低的極限壓力下運(yùn)行，同時可用于高通量應(yīng)用
無烴運(yùn)行，可確保真空系統(tǒng)潔凈
遠(yuǎn)程控制器可在距離 100 m 處進(jìn)行操作
低振動和低噪音 (43 dB(A))，打造舒適的工作環(huán)境并且可以在敏感的實(shí)驗(yàn)環(huán)境下運(yùn)行
體積小巧，可安裝在任何位置，有利于輕松集成
免維護(hù)軸承，零運(yùn)行成本。
真空計讀數(shù)功能，用于監(jiān)測系統(tǒng)壓力
通過 Vacuum Link 應(yīng)用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制，以便隨時隨地進(jìn)行泵的操作
防輻射和防磁場設(shè)計，無嵌入式電子設(shè)備，可在強(qiáng)磁場和輻射環(huán)境下運(yùn)行
低電磁輻射，確保不會干擾工藝過程
泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達(dá)到很大化，可在泵的操作條件下始終保持最佳氣體流量和壓縮比
性能指標(biāo)
| H2 壓縮比 |
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| He 壓縮比 |
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| N2 壓縮比 |
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| 冷卻方法 |
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| 前級管道法蘭尺寸 |
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| 前級耐壓 — N2 |
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| 啟動時間 |
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| 噪音水平 |
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| 工作位置 |
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| 建議采用的前級泵容量 |
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| 抽速 — Ar |
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| 抽速 — H2 |
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| 抽速 — He |
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| 抽速 — N2 |
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| 操作環(huán)境溫度 |
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| 最高氣體通量 — Ar、水冷 |
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| 最高氣體通量 — N2、水冷 |
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| 極限真空 |
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| 標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證 |
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| 法蘭類型 |
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| 貯存環(huán)境溫度 |
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| 重量 |
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| 額定轉(zhuǎn)速 |
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